Carmanhaas Mirrors utawa total reflektor digunakake ing rongga laser minangka reflektor mburi lan mirrors melu, lan externally minangka benders balok ing sistem pangiriman beam.
Silicon minangka substrat pangilon sing paling umum digunakake; kauntungan iku biaya kurang, kekiatan apik, lan stabilitas termal.
Molybdenum pangilon lumahing banget angel ndadekake iku becik kanggo lingkungan fisik paling nuntut. Mo mirror biasane ditawakake ora dilapisi.
| Spesifikasi | Standar |
| Toleransi dimensi | +0.000” / -0.005” |
| Toleransi Kekandelan | ± 0,010" |
| Paralelisme : (Plano) | ≤ 3 menit busur |
| Aperture Clear (Poles) | 90% diameteripun |
| Gambar lumahing @ 0.63um | Daya: 2 pinggiran, Irregularity: 1 pinggiran |
| Scratch-Dig | 10-5 |
| Jeneng produk | Dhiameter (mm) | ET (mm) | Lapisan |
| Mo Mirror | 30 | 3/6 | Ora ana lapisan, AOI: 45° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| Cermin Silikon Kab | 30 | 3/4 | HR@106um, AOI:45° |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
